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東京計裝超聲波流量計UCUF-02M/SFC-010L是液體用超聲波流量計。 可高精度量測純水、超純水及各種藥液等的微小流量。 測量管路的口徑為2.5 mm，可廣泛復蓋以往UCUF型超聲波流量計難以測量的微小流量區域。 接液部全部由面向半導體工業的PFA構成，是完全沒有可動部、沒有容易產生積液的密封部的理想潔凈結構，半導體制造裝置等要求潔凈度的工藝。
更新時間：2022-05-18
東京計裝超聲波流量計UCUF-02M/SFC-010L
UCUF-02M/SFC-010L是液體用超聲波流量計。 可高精度量測純水、超純水及各種藥液等的微小流量。 測量管路的口徑為2.5 mm，可廣泛復蓋以往UCUF型超聲波流量計難以測量的微小流量區域。
小口徑化
該超聲波流量計在超聲波傳播測量困難的內徑φ2.5 mm的管路中成功測量了超聲波的傳播。
微小流量
小滿量程設定范圍:0 ~ 10 mL/min
EMC標準: EN61326-1
支持RoHS
可測量運動粘度達到40 mm2/s的高粘度流體
理想潔凈結構的檢測器
耐腐蝕，安裝方便
精度:指示值的±1%以內(流量25 mL/min以上時)
半導體制造工藝純水超純水的流量測定
各種藥液注入工藝的流量測定
高腐蝕性液體的流量測量
CMP漿料流量測量
其他小~中口徑工藝液體流量測量
清洗裝置、CMP裝置的流量測量控制
東京計裝超聲波流量計UCUF-02M/SFC-010L
主要規格
| 測量對象 | 水 |
|---|---|
| 流量范圍 | 0 ~ 8000 mL/min |
| 流體溫度 | 10 ~ 80℃(環境溫度0 ~ 50℃) |
| 流體壓力 | 0 ~ 0.5 MPa |
| 進程連接 | 3/8"PFA氣管端子(外形尺寸…φ9.53、內徑尺寸…φ6.35 ) |
| 測量精度 | ±2%R.D.(1700mL/min以上)±34 ml/min (小于1700 ml/min ) 但是，在流過20℃的水的情況下 |
| 電纜 | 多芯電纜5m (標準) |
| 結構 | IP65 (室內規格) |
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